TiB₂セラミック蒸発ルツボ – 高性能・耐久性を備えた真空コーティング用
TiB₂ セラミック蒸発ルツボは、優れた導電性・耐熱性・耐食性を備え、真空コーティングに最適な高性能部品です。
基本パラメータ
| 項目 | 値 |
|---|---|
| 組成 | BN/TiB₂/AlN 三元セラミックス |
| 密度 | 3.01 ± 0.02 g/cm³ |
| 熱伝導率 | 100 W/m·K @ 20℃；40 W/m·K @ 1200℃ |
| 寸法 | 130 × 38 × 10 mm |
| 溝寸法 | 115 × 33 × 1.3 mm |
| 寸法公差 | ±0.5 mm |
製品概要
TiB₂ セラミック蒸発ルツボ は、独自の BN/TiB₂/AlN 複合材から製造されており、優れた電気伝導性、熱安定性、Ni-Cu 腐食に対する耐性を備えています。高効率な PVD プロセス向けに設計され、均一な蒸発、長寿命化、そして精密な製造とクリーンな表面品質による汚染低減を実現します。
高性能で安定性が高く、かつコスト効率に優れた真空コーティング用セラミック蒸発ルツボ をお探しであれば、当社の TiB₂ セラミック製品が最適な選択です。
主な特長
•高純度材料
BN/TiB₂/AlN 三元複合セラミックス、純度 ≥99.9%、極めて高い安定性
•優れた電気伝導性
低抵抗率（2.5–2.7 mΩ）により高効率なエネルギー伝達を実現
•熱特性
熱伝導率：100 W/m·K @ 20℃、40 W/m·K @ 1200℃
熱膨張係数：4–6 × 10⁻⁶/K (20–1450℃)、優れた耐熱衝撃性
•機械的強度
曲げ強度 >150 MPa
ヤング率 60–70 GPa
•表面および寸法精度
滑らかで汚染のない表面により蒸発の均一性を向上
寸法公差 ±0.5 mm、確実な互換性を保証
技術データ
| 項目 | 値 |
|---|---|
| 組成 | BN/TiB₂/AlN 三元セラミックス |
| 密度 | 3.01 ± 0.02 g/cm³ |
| 常温抵抗率 | 2.5–2.7 mΩ |
| 熱伝導率 | 100 W/m·K @ 20℃；40 W/m·K @ 1200℃ |
| 熱膨張係数 | 4–6 × 10⁻⁶/K (20–1450℃) |
| 曲げ強度 | >150 MPa @ 20℃ |
| ヤング率 | 60–70 GPa @ 20℃ |
| 表面平坦度 | < 0.3 mm |
| 寸法 | 130 × 38 × 10 mm |
| 溝寸法 | 115 × 33 × 1.3 mm |
| 寸法公差 | ±0.5 mm |
| 検査基準 | 厳格な品質基準 |
典型用途
•高効率 PVD（物理気相蒸着）プロセス
•半導体薄膜製造
•機能性および装飾用真空コーティング
•金属および化合物の蒸発源
輸送包装仕様
•内層包装：真空パック包装
•外層包装：段ボール箱
お問い合わせ
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