PGコートPBNルツボ– 熱分解黒鉛コーティング +PBN基材
カテゴリー 熱分解窒化ホウ素製品(PBN )
PG コーティング ルツボは、PBN 基材に熱分解黒鉛 (PG) をコーティングした構造を持ち、高い熱伝導性と熱安定性を兼ね備え、半導体や PVD/CVD プロセスに最適です。
技術パラメータ
| 特性 | 単位 | 数値 |
|---|---|---|
| 密度 | g/cm³ | 1.95 – 2.22 |
| 使用温度 | ℃ | 2000 |
| 引張強度 | MPa | 80 |
| 曲げ強度 | MPa | 243 |
| 材質 | – | PBN / PG コーティング |
| 色 | – | 黒色 |
製品概要
PG コーティング ルツボは、過酷な半導体プロセスや真空環境に対応する高性能るつぼです。
その最大の特長は、熱分解黒鉛 (PG) コーティング により高い熱伝導性と非粘着性を実現している点です。
さらに構造としては、PBN(熱分解窒化ホウ素)を基材とし、その表面に PG をコーティングしています。
PBN が持つ優れた熱安定性・耐薬品性・気密性と、PG の熱伝導性が融合することで、2000 ℃ を超える高温でも安定した性能を発揮し、エピタキシャル成長や PVD/CVD プロセスにおける信頼性を大幅に向上させます。
主な特長
•超高純度(最大 99.999%)、ガス透過なし・完全緻密構造
•優れた高温耐性と化学的安定性
•強い耐熱衝撃性と低熱膨張係数
•PG 基材の高い熱伝導率と安定した PBN コーティング
•酸、アルカリ、塩類、有機試薬に対する優れた耐性
•過酷な使用条件下でも長寿命
•最大コーティング直径:300 mm、コーティング厚さ:最大 100 μm
技術データ
| 特性 | 単位 | 数値 |
|---|---|---|
| 密度 | g/cm³ | 1.95 – 2.22 |
| 使用温度 | ℃ | 2000 |
| 引張強度 | MPa | 80 |
| 曲げ強度 | MPa | 243 |
| 材質 | – | PBN / PG コーティング |
| 色 | – | 黒色 |
輸送包装仕様
•内層包装:真空パック包装
•外層包装:段ボール箱
お問い合わせ
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メール: sawada@onecera-m.co.jp
携帯: 090-9970-0967



