PBN/PG 複合加熱エレメント – PBN/PG ヒーター
PBN/PG 複合加熱エレメントは、PBN と PG のサンドイッチ構造により高温・超クリーン環境で優れた熱性能と化学的安定性を発揮し、MOCVD など半導体エピタキシー装置の中核加熱部品として最適です。
製品概要
PBN/PG 複合加熱エレメント（PBN–PG–PBN ヒーター）は、極限の高温環境および超クリーン環境に対応する高性能セラミックヒーターです。MOCVD サセプタなどの半導体エピタキシー装置に広く利用され、ウェハーを支持・加熱する中核的な加熱部品として機能します。
この構造は 3 層で構成されています：
•PBN（熱分解窒化ホウ素）：絶縁基板
•PG（熱分解黒鉛）：導電性加熱層
•PBN カプセル化：保護および純度維持
このサンドイッチ型複合構造により、優れた熱性能、化学的安定性、そして過酷な環境下での長寿命が実現されます。
主な特長
•高効率かつ均一な加熱 – 高い熱均一性により迅速で安定した加熱分布を実現。
•超高純度・低コンタミネーション – PBN カプセル化により不純物を防ぎ、チャンバーを清浄に維持。
•過酷雰囲気への適応性 – 真空、還元性または反応性ガス（H₂、NH₃）環境下でも安定動作。
•長寿命 – 昇華、酸化、Si 蒸気腐食に対して優れた耐性を発揮。
•優れた高温性能 – 1400 ℃超でも安定稼働し、通常 1500–1600 ℃で長期運転が可能。
技術データ
| 特性 | 単位 | 数値 |
|---|---|---|
| 構造 | – | PBN–PG–PBN（サンドイッチ構造） |
| 純度 | – | ≥ 99.99% |
| 最高使用温度 | ℃ | 1500 – 1600 |
| 対応雰囲気 | – | 真空、H₂、NH₃、不活性ガス |
| 熱特性 | – | 高い異方性熱伝導率 |
| 耐食性 | – | 酸、アルカリ、Si 蒸気に対して優れた耐性 |
| 選択可能な寸法 | – | 最大直径 Ø300 mm、円形または角形 |
標準仕様
| 製品カテゴリ | 寸法範囲 | 抵抗 R (Ω) | 電圧 V | 電流 A | 出力 M (W) |
|---|---|---|---|---|---|
| ディスクヒーター | Ø 1.00–3.00″（25.4–76.2 mm） | 10–35 | 40–208 | 8–20 | 300–3000 |
| タブ付きディスクヒーター | Ø 0.50–2.00″（12.7–50.8 mm） | 5–30 | 15–110 | 8–15 | 80–1300 |
| 矩形ヒーター | 0.98–2.95″ 相当（25.0–75.0 mm） | 7–22 | 35–170 | 6–17 | 220–2300 |
📌 備考：上記は型番群の代表レンジです。仕様はアプリケーションにより変動します。お客様の図面に基づくカスタム対応が可能です。
輸送包装仕様
•内層包装：真空パック包装
•外層包装：段ボール箱
お問い合わせ
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