熱分解窒化ホウ素ルツボ (OLED 型) – PBN OLED ルツボ
PBN OLED ルツボは、CVD 法で製造された超高純度（≥99.999%）の窒化ホウ素製ルツボで、OLED および CIGS 蒸着に最適です。優れた熱安定性と低脱ガス特性により、汚染のない環境で高純度材料の堆積を実現し、先端半導体やオプトエレクトロニクス分野に不可欠な部材です。
| 特性 | 数値 |
|---|---|
| 製品グレード | PBN OLED ルツボ |
| 材質 | 熱分解窒化ホウ素 (PBN) |
| 純度 | 99.99% – 99.999% |
| 見掛け密度 | 1.95 – 2.21 g/cm³ |
| 用途 | OLED 蒸着、半導体プロセス |
| 寸法 | カスタマイズ可能 |
製品概要
PBN OLED ルツボは、化学気相成長（CVD）法によって製造され、OLED および CIGS 蒸着用に設計されています。
超高純度（≥99.999%）、化学的に不活性、優れた熱安定性、低脱ガス特性を備えており、汚染のない環境で高純度材料の蒸着を可能にします。
そのため、先端半導体やオプトエレクトロニクス分野において欠かせない部材となっています。
主な特長
•超高純度（≥99.999%）、バインダーや添加剤を一切含まない
•優れた耐薬品性を持ち、有機材料とも反応しない
•高温安定性（>2000 ℃）、真空下でも低脱ガス特性
•平滑で非多孔質の表面、洗浄が容易で再利用可能
•寸法精度が高く、均一な肉厚により安定した性能を実現
技術データ
| 特性 | 単位 | 代表値 |
|---|---|---|
| 格子定数 | m | a: 2.504×10⁻¹⁰ / c: 6.692×10⁻¹⁰ |
| 見掛け密度 | g/cm³ | 1.95–2.21 (板材/ルツボ) |
| ヘリウム透過率 | cm³/s | 1×10⁻¹² |
| ヌープ硬さ (ab 面) | N/mm² | 691.88 |
| 体積抵抗率 | Ω·cm | 3.11×10¹¹ |
| 引張強度 (‖ c 軸) | N/mm² | 153.86 |
| 曲げ強度 (‖ c 軸) | N/mm² | 243.63 |
| 曲げ強度 (⊥ c 軸) | N/mm² | 197.76 |
| 弾性率 | N/mm² | 235,690 |
| 熱伝導率 (200℃, a 軸) | W/m·K | 60.0 |
| 熱伝導率 (200℃, c 軸) | W/m·K | 2.60 |
| 熱伝導率 (900℃, a 軸) | W/m·K | 43.70 |
| 熱伝導率 (900℃, c 軸) | W/m·K | 2.80 |
| 絶縁破壊強度 (室温) | kV/mm | 56.0 |
| 純度 | % | ≥ 99.999 |
標準仕様
| 内径 (mm) | 外径 (mm) | 高さ (mm) |
|---|---|---|
| 55 | 69 | 164 |
| 69 | 82 | 185 |
| 71 | 84 | 186 |
| 77 | 90 | 248 |
| 90 | 115 | 280 |
📌 備考：上記は標準仕様であり、顧客のご要望に応じてカスタマイズ可能です。
輸送包装仕様
•内層包装：真空パック包装
•外層包装：段ボール箱
お問い合わせ
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