熱分解窒化ホウ素ルツボ（LEC型）– PBN LECルツボ
熱分解窒化ホウ素（PBN）は、化学気相成長（CVD）によって製造される先端セラミックスで、純度は最大 99.999% に達し、結合剤や添加物を一切含みません。緻密で平滑かつ非多孔質の構造により、優れた耐熱性・化学的安定性・電気絶縁性を発揮します。
LEC型PBNルツボは、液封チョクラルスキー（LEC）法に最適化され、GaAs・InP などの化合物半導体単結晶育成に広く使用されています。
基本パラメータ
| 項目 | 数値 |
| 製品グレード | PBN LEC ルツボ |
| 材料 | PBN |
| 純度 | 99.99% – 99.999% |
| 見掛け密度 | 1.95 – 2.21 g/cm³ |
| 寸法 | カスタム対応 |
主な特長
• 超高純度（最大 99.999%）― 結晶育成時の汚染を防止
• 極めて低い放出ガス率 ― 真空システムに最適
• 均一な肉厚 ― 安定した加熱と熱性能を保証
• 高熱伝導率 & 優れた耐熱衝撃性 ― 2000℃からの急冷でも亀裂なし
• 緻密で非多孔質の表面 ― 洗浄が容易で再利用可能
• 化学的に不活性 ― 酸・アルカリ・溶融金属に対して耐食性を発揮
• 最大 3000℃まで安定 ― 昇華せず B と N に直接分解
技術データ
| パラメータ | 単位 | 典型値 |
| 格子定数 | m | a: 2.504×10⁻¹⁰ / c: 6.692×10⁻¹⁰ |
| 見掛け密度 | g/cm³ | 1.95–2.21 |
| ヘリウム透過率 | cm³/s | 1×10⁻¹² |
| ヌープ硬度 (ab 面) | N/mm² | 691.88 |
| 体積抵抗率 | Ω·cm | 3.11×10¹¹ |
| 引張強度 (‖ c軸) | N/mm² | 153.86 |
| 曲げ強度 (‖ c軸) | N/mm² | 243.63 |
| 曲げ強度 (⊥ c軸) | N/mm² | 197.76 |
| 弾性率 | N/mm² | 235,690 |
| 熱伝導率 (200℃, a軸) | W/m·K | 60.0 |
| 熱伝導率 (200℃, c軸) | W/m·K | 2.60 |
| 熱伝導率 (900℃, a軸) | W/m·K | 43.70 |
| 熱伝導率 (900℃, c軸) | W/m·K | 2.80 |
| 誘電破壊強度 (RT) | kV/mm | 56.0 |
| 純度 | % | ≥ 99.999 |
標準仕様
| 内径 (inch) | 高さ (mm) | 壁厚 (mm) |
| 3″ | 100–300 | 0.7–1.0 |
| 4″ | 100–300 | 0.7–1.0 |
| 5″ | 100–300 | 0.7–1.0 |
| 6″ | 100–300 | 0.7–1.2 |
| 7″ | 100–300 | 0.7–1.2 |
| 8″ | 100–300 | 1.0–1.5 |
備考：上記は標準寸法であり、カスタム対応も可能です。
輸送包装仕様
• 内層包装：アルミ箔複合フィルム
• 外層包装：段ボール箱
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