PBN コーティング黒鉛は、CVD 法で黒鉛基材に高純度の保護層を形成し、高温・高真空環境でのガス侵食や揮発を防止します。優れた熱安定性・電気絶縁性・低脱ガス特性を備え、半導体ルツボ、ヒーター、単結晶製造装置部品、金属蒸着用部材などに広く利用されています。
基本パラメータ
| 特性 | 単位 | 数値 |
|---|---|---|
| カタログ番号 | – | PBN コーティング黒鉛 |
| 寸法 | – | < 500 mm |
| 材質 | – | 熱分解窒化ホウ素 (PBN) |
| 純度 | – | 99.999%（コーティング） |
| コーティング厚さ | μm | 200 |
製品概要
PBN（熱分解窒化ホウ素）コーティング黒鉛は、CVD 法によって黒鉛基材の表面に緻密で高純度な保護層を形成し、高温・高真空環境において黒鉛部品をガス侵食や揮発から守ります。これにより汚染を防ぎ、耐久性とプロセス安定性を大幅に向上させ、長寿命化を実現します。PBN は化学的に安定しており、不活性雰囲気中では 1,500℃ 以上にも耐えられる材料で、優れた熱安定性、電気絶縁性、低脱ガス特性を備えています。用途としては、半導体エピタキシー用ルツボ、半導体用高機能ヒーター、GaN・AlN 単結晶製造装置部品、金属蒸着用ルツボやハースライナーなどが挙げられます。
主な特長
•純度 最大 99.999%
•優れた電気絶縁特性
•高温・真空下でも低い脱ガス率
•コーティングと黒鉛基材との強固な密着性
•高温環境における優れた耐薬品腐食性
•緻密で均一なコーティングにより黒鉛の揮発を効果的に防止
•最大黒鉛直径：500 mm、コーティング厚さ：最大 200 μm
技術データ
| 特性 | 数値 |
|---|---|
| 材質 | PBN / 黒鉛 |
| かさ密度 | 1.95 – 2.21 g/cm³ |
| 引張強度 | 112 MPa |
| 曲げ強度 | 173 MPa |
| 圧縮強度 | 154 MPa |
| ヤング率 | 18 GPa |
| 体積抵抗率 | 2 × 10¹⁵ Ω·cm |
| 金属不純物含有量 | < 10 ppm |
主な使用用途
•半導体エピタキシー用ルツボ、蒸発ポット、シードホルダー、支持治具
•半導体用高機能ヒーター、サセプタ、加熱エレメント、トレー
•GaN・AlN 単結晶製造装置の内部部品
•高温真空炉用ルツボ、構造部品、断熱材
•金属蒸着用ルツボ、ハースライナー
•材料加工用部材 – ロッド、バー、シート、チューブ、カスタムコーティング部品
標準仕様
図面対応カスタム
輸送包装仕様
•内層包装：真空パック包装
•外層包装：段ボール箱
お問い合わせ
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