窒化ホウ素複合ルツボは、BNにZrO₂・SiC・AlNなどを組み合わせた独自配合により、耐熱性・耐酸化性・耐食性に優れ、不活性雰囲気で1800℃まで安定使用可能で、複雑形状の加工にも対応します。
基本パラメータ
| 項目 | BN-B | BN-C | BN-D | BN-E |
|---|---|---|---|---|
| 成分 | BN+Zr+Al | BN+SiC | BN+Zr | BN+AlN |
| 色 | 灰白 | 灰緑 | 灰白 | 灰緑 |
| 密度 (g/cm³) | 2.25–2.35 | 2.40–2.50 | 2.80–2.90 | 2.80–2.95 |
| 使用温度 (℃, 大気) | ≤1000 | ≤1000 | ≤1000 | ≤1000 |
| 使用温度 (℃, 不活性) | ≤1750 | ≤1750 | ≤1800 | ≤1800 |
| 使用温度 (℃, 真空) | ≤1750 | ≤1750 | ≤1800 | ≤1800 |
| 曲げ強度 (MPa) | 65 | 80 | 90 | 90 |
製品概要
窒化ホウ素複合ルツボは、h-BNにZrO₂、SiC、AlNなどの添加材を組み合わせた独自配合（例：BN+Zr+Al、BN+SiC、BN+Zr、BN+AlN）によって設計されています。
これらの複合材料は、スパッタリング、酸化、溶融金属（Al、Ni、Cu、Au）による腐食に対して優れた耐性を発揮しつつ、高い熱安定性（不活性雰囲気／真空中で最高1800 ℃、大気中で1000 ℃）、安定した電気抵抗率（>10¹³ Ω·cm）、および複雑形状の加工に適した優れた加工性を備えています。
主な特長
配合技術の革新
独自のBN複合材料により、スパッタリング用るつぼの劣化やNi・Cu腐食の問題を解決。
化学的安定性
長時間の運転においても安定した抵抗率を維持し、酸・アルカリ腐食に耐性。
耐酸化性・耐金属腐食性
溶融Al、Cu、Ni、Auによる腐食に強く、るつぼ寿命を大幅に延長。
高温耐性
真空・不活性雰囲気下で最大1800℃まで安定運転、大気中では最高1000℃。
加工性
複雑なカスタム形状にも対応可能で、加工リードタイムは通常約2週間。
技術データ
| 項目 | BN-B | BN-C | BN-D | BN-E |
|---|---|---|---|---|
| 成分 | BN+Zr+Al | BN+SiC | BN+Zr | BN+AlN |
| 色 | 灰白 | 灰緑 | 灰白 | 灰緑 |
| 密度 (g/cm³) | 2.25–2.35 | 2.40–2.50 | 2.80–2.90 | 2.80–2.95 |
| 体積抵抗率 (Ω·cm) | >10¹³ | >10¹² | >10¹² | >10¹³ |
| 使用温度 (℃, 大気) | ≤1000 | ≤1000 | ≤1000 | ≤1000 |
| 使用温度 (℃, 不活性雰囲気) | ≤1750 | ≤1750 | ≤1800 | ≤1800 |
| 使用温度 (℃, 真空) | ≤1750 | ≤1750 | ≤1800 | ≤1800 |
| 曲げ強度 (MPa) | 65 | 80 | 90 | 90 |
| 熱膨張係数 (10⁻⁶/℃) | 2.0 | 2.8 | 3.0 | 2.8 |
| 熱伝導率 (W/m·K) | 30 | 40 | 30 | 85 |
📌 代表値であり、保証値ではありません。
材料とグレード
BN-B：BN + Zr + Al – 熱特性と化学的安定性のバランス
BN-C：BN + SiC – 耐浸食性と熱伝導性を強化
BN-D：BN + Zr – 高い機械的強度と寸法安定性
BN-E：BN + AlN – 高速な熱伝導と優れた耐酸化性
応用分野
金属加工
溶融アルミニウム、ニッケル、銅、金およびその他の活性金属環境
結晶成長
高純度材料および半導体単結晶の熱処理・製造
コーティング・表面工学
スパッタリング耐性るつぼおよび高温成膜プロセス
化学・熱工装置
酸・アルカリ環境および高温雰囲気下での安定運転
輸送包装仕様
•内層包装：真空パック包装
•外層包装：段ボール箱
お問い合わせ
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