BN-TiB2-AlN Conductive Ceramic Crucibles
純度99.9%以上の三成分系導電性セラミックス複合材料で、PVDプロセス向けに開発されています。黒鉛とは異なる材料構成により、炭素由来の汚染をゼロに抑え、安定した電気特性を備えています。
ニッケルおよび銅の溶融物に対する非ぬれ性を備え、均一で安定した蒸着に寄与します。
Purity: ≥99.9%
Strength: >150 MPa
BN-AlN-TiB₂系 複合導電性セラミックスるつぼ|真空蒸着用
OneCera Materialsでは、BN、TiB₂、AlNを組み合わせた導電性複合セラミックス製の真空蒸着用るつぼを取り扱っています。通電による抵抗加熱に対応し、PVD真空蒸着工程で金属材料を加熱・溶融・蒸発させる蒸発源として使用されます。
BN-AlN-TiB₂系複合材料は、導電性、高温安定性、熱伝導性、耐熱衝撃性を備えています。標準形状は130 × 38 × 10 mmです。
蒸着装置、電極間距離、蒸発材料、要求抵抗値を確認し、外形寸法、溝形状、溝深さなどの仕様について個別に対応可否を確認します。
01. 代表仕様・材料特性
| 項目 | 代表値 / 仕様 |
|---|---|
| 材料系 | BN / AlN / TiB₂ 複合導電性セラミックス |
| 純度 | ≥99.9% |
| 密度 | 3.01 ± 0.02 g/cm³ |
| 常温抵抗値 | 2.5–2.7 mΩ |
| 熱伝導率(20℃) | 100 W/m·K |
| 熱伝導率(1200℃) | 40 W/m·K |
| 熱膨張係数 | 4–6 × 10⁻⁶/K(20–1450℃) |
| 曲げ強度 | >150 MPa(20℃) |
| 標準外形寸法 | 130 × 38 × 10 mm |
| 標準溝寸法 | 115 × 33 × 1.3 mm |
| 平面度 | <0.3 mm |
| 寸法公差 | ±0.5 mm |
| 梱包 | 真空包装 |
記載値は代表値であり、保証値ではありません。電気特性、熱特性および機械特性は、材料組成、製品寸法、測定方法、温度条件によって異なります。装置設計・選定に使用する値については、対象仕様をご確認ください。
02. 供給仕様・カスタム対応
| 項目 | 対応内容 |
|---|---|
| 標準形状 | ボート型 / 長方形蒸着用るつぼ |
| 標準寸法 | 130 × 38 × 10 mm(溝:115 × 33 × 1.3 mm) |
| カスタム寸法 | 装置仕様に応じて、長さ、幅、厚さ、溝長さ、溝幅、溝深さなどを確認 |
| 電気特性 | 要求抵抗値、使用電流、電圧、加熱条件を確認し、対応仕様を検討 |
| 蒸発材料 | 使用する蒸発材料およびプロセス条件を確認したうえで適合性を検討 |
| 寸法公差 | 外形寸法、溝寸法、平面度などについて図面・装置仕様に基づき確認 |
| 対応ファイル形式 | STEP、DWG、DXF、PDFほか |
| 供給ロット | サンプル、小ロット、定期購入、量産案件に個別対応 |
03. 主な用途
| 用途分野 | 使用例 | 主な要求特性 |
|---|---|---|
| 真空蒸着(PVD) | 抵抗加熱式真空蒸着装置の蒸発源 | 導電性、高温安定性、安定した加熱特性 |
| 金属薄膜形成 | 金属材料の加熱・溶融・蒸発 | 耐食性、熱伝導性、耐熱衝撃性 |
| 光学・電子部品 | 光学膜、電子部品用金属膜などの真空成膜工程 | 蒸発レートの安定性、低コンタミネーション、再現性 |
| 研究・蒸着装置 | 研究開発用および小型真空蒸着装置の蒸発源 | 装置適合性、寸法精度、加熱応答性 |
04. 製造・供給体制
OneCera Materialsでは、中国のメーカーの中から、複合導電性セラミックスの製造実績、品質管理、加工能力を確認し、案件に応じて製造パートナーを選定しています。蒸着装置、製品寸法、溝形状、抵抗値、蒸発材料などの要求仕様を確認し、製造側と仕様を調整します。サンプル評価から継続的な量産供給まで対応します。
複合セラミックス製造BN・AlN・TiB₂系材料の成形・焼結
形状・寸法加工外形、蒸発溝、端部などを仕様に基づいて加工
品質・仕様確認寸法、外観、抵抗値など要求仕様に応じた確認
05. 品質確認・提出書類
製品仕様およびご発注条件に応じて、製造元と連携し、材料組成、密度、電気特性、寸法、外観、ロット情報などを確認します。必要な検査項目・提出書類については事前に確認し、対応可否を含めて見積時にご案内します。
| 項目 | 対応内容 |
|---|---|
| TDS | 対象材料の代表物性・仕様データ |
| SDS / MSDS | 材料安全データ |
| COA / 検査成績書 | 対象ロット・要求仕様に応じて発行可否を確認 |
| 電気特性確認 | 抵抗値など、合意した仕様項目に基づいて確認 |
| 寸法検査 | 長さ、幅、厚さ、溝寸法、平面度、公差など |
| 外観確認 | クラック、欠け、表面状態、エッジ部などについて出荷前に確認 |
| 追加検査 | 必要項目、試験方法、判定基準を確認後に対応可否を検討 |
真空蒸着用るつぼの仕様確認・見積依頼
使用する蒸着装置、るつぼ寸法、溝寸法、蒸発材料、要求抵抗値、数量などの情報をご提示ください。標準品または特注仕様について製造パートナーと確認し、製作可否と見積をご案内します。






